Applikazzjoni ta 'gass tal-gass tad-denb tal-gass speċjali tal-gass！

Tagħmir għat-trattament tal-gass tad-denb jista 'jimmaniġġa gassijiet użati fil-proċessi ta' inċiżjoni u proċessi ta 'deposizzjoni ta' fwar kimiku fis-semikondutturi, kristall likwidu, u industriji ta 'enerġija solari, inklużi SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, u ON.

Metodu tat-trattament tal-gass tal-egżost

Skond il-karatteristiċi tat-trattament tal-gass tal-egżost, it-trattament jista 'jinqasam f'erba' tipi ta 'trattament:

1. It-tip ta 'ħasil tal-ilma (trattament ta' gassijiet korrużivi)

2. Tip ta 'ossidazzjoni (li jittrattaw gassijiet kombustibbli u tossiċi)

3

4.Plasma tat-tip ta 'kombustjoni (it-tipi kollha ta' gassijiet ta 'l-egżost jistgħu jiġu ttrattati).

Kull tip ta 'trattament għandu l-vantaġġi u l-iżvantaġġi tiegħu kif ukoll l-ambitu ta' applikazzjoni tiegħu. Meta l-metodu ta 'trattament huwa l-ħasil tal-ilma, it-tagħmir huwa rħis u sempliċi, u jista' jimmaniġġa biss gassijiet li jinħallu fl-ilma; Il-firxa ta 'applikazzjoni tat-tip ta' ħasil ta 'l-ilma elettriku hija ogħla minn dik tat-tip ta' ħasil ta 'l-ilma, iżda l-ispiża ta' l-operazzjoni hija għolja; It-tip niexef għandu effiċjenza tajba għat-trattament, u mhux applikabbli għall-fluss tal-gass li huwa faċli biex tkun imblukkat jew ħiereġ.

Il-kimiċi u l-prodotti sekondarji tagħhom użati komunement fl-industrija tas-semikondutturi jistgħu jiġu kklassifikati skont il-proprjetajiet kimiċi tagħhom u l-firxiet differenti tagħhom:

1. Gassijiet fjammabbli bħal SIH4H2, eċċ.

2. Gassijiet tossiċi bħal Ash3, Ph3, eċċ.

3. Gassijiet korrużivi bħal HF, HCl, eċċ.

4. Gassijiet serra bħal CF4, NF3, eċċ.

Peress li l-erba 'gassijiet ta' hawn fuq huma ta 'ħsara għall-ambjent jew il-ġisem tal-bniedem, għandhom jipprevjenu l-emissjoni diretta tiegħu fl-atmosfera, u għalhekk l-impjant tas-semikondutturi ġenerali huwa installat b'sistema ta' trattament tal-gass tal-egżost ċentralizzat kbir, iżda din is-sistema hija biss l-egżost tal-ilma tal-ilma, u għalhekk l-applikazzjoni tagħha hija limitata għall-gassijiet li jinħallu fl-ilma, u ma tistax tittratta l-egżost li jinbidel u ma jistax jittratta l-gassi Għalhekk, huwa meħtieġ li tagħżel u tqabbel it-tagħmir korrispondenti tat-trattament tal-gass tal-egżost skont il-karatteristiċi tal-gass derivati ​​minn kull proċess sabiex issolvi l-problema tal-gass tal-egżost b'mod żgħir. Peress li ż-żona tax-xogħol hija l-aktar 'il bogħod mis-sistema ċentrali tat-trattament tal-gass tal-egżost, ħafna drabi minħabba l-karatteristiċi tal-gass iwasslu għal kristallizzazzjoni jew akkumulazzjoni ta' trab fil-pipeline, li tirriżulta fl-imblukkar tal-pipeline li jwassal għal tnixxija ta 'gass, u f'każijiet serji, anke jikkawża splużjoni, ma jistax jiżgura li s-sigurtà tax-xogħol tal-persunal tas-sit. Għalhekk, fiż-żona tax-xogħol hemm bżonn li tikkonfigura tagħmir żgħir għat-trattament tal-gass tal-egżost adattat għall-karatteristiċi tal-proċess tal-gass, sabiex jitnaqqas il-gass staġnat tal-egżost fiż-żona tax-xogħol, biex jiżgura s-sigurtà tal-persunal.