L-użu tal-gassijiet fl-industrija tas-semikondutturi jmur lura għall-bidu tas-snin 1950 sal-1960. Matul il-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi, il-gassijiet jintużaw prinċipalment biex jitnaddfu u jipproteġu materjali tas-semikondutturi biex jiżguraw il-purità u l-kwalità tagħhom. Fost il-gassijiet l-aktar użati hemm in-nitroġenu u l-idroġenu.
Hekk kif żviluppat it-teknoloġija tas-semikondutturi u l-proċessi tal-manifattura komplew jitjiebu, id-domanda għall-gassijiet żdiedet. Fl-1970, żvilupp ulterjuri tat-teknoloġija tal-manifattura tas-semikondutturi, l-applikazzjoni tal-gassijiet fi proċessi ewlenin bħall-inċiżjoni u d-deposizzjoni ta 'films irqaq żdiedu gradwalment, u l-gassijiet tal-fluworidu (eż. SF6) u l-ossiġenu saru komunement użati gassijiet ta' inċiżjoni u depożitu. L-1980 rat żieda oħra fid-domanda għall-gassijiet bl-iżvilupp ta 'ċirkwiti integrati u ż-żieda fid-domanda għalihom. L-idroġenu ntuża ħafna fil-proċess tal-manifattura, inklużi l-ittemprar tal-idroġenu u d-deposizzjoni tal-fwar tal-idroġenu. U mill-1990 sal-preżent, id-domanda għal gassijiet ta 'purità għolja u gassijiet speċifiċi żdiedet hekk kif id-daqsijiet tal-apparat semikondutturi komplew jonqsu u ġew introdotti proċessi ġodda. Pereżempju, l-applikazzjoni ta 'litografija ultravjola estrema (EUV) teħtieġ l-użu ta' gassijiet ta 'purità estremament għolja bħal nitroġenu u idroġenu.
Il-gass tas-semikondutturi jkompli jiżdied bl-iżvilupp ta 'prodotti relatati mmexxija minn aktar u aktar prodotti huma żvelati, filwaqt li l-gass jappartjeni wkoll għas-sors ta' periklu, u għalhekk il-prodotti użati għad-dekompressjoni tal-gass, prodotti ta 'skoperta tal-gass u jipprevjenu prodotti ta' tnixxija tal-gass bħalma huma ħarġu regolaturi tal-pressjoni, valvi tal-gass, gauges tal-pressjoni tal-gass, detettur tat-tnixxija tal-gass, eċċ., U r-rwol tagħhom huma bħala segwiti:
Regolaturi tal-pressjoni: Ir-regolaturi tal-pressjoni huma apparati użati biex jikkontrollaw il-pressjoni tal-gass. Is-soltu jikkonsistu minn valv tar-regolatur u sensur tal-pressjoni. Ir-regolaturi tal-pressjoni jieħdu input tal-gass bi pressjoni għolja u jistabbilizzaw il-pressjoni tal-gass tal-ħruġ billi jaġġustaw il-valv biex jissodisfaw ir-rekwiżiti speċifiċi tal-applikazzjoni. Ir-regolaturi tal-pressjoni jintużaw ħafna f'oqsma bħall-industrija, il-manifattura u l-laboratorji, kif ukoll fl-industrija tas-semikondutturi, fost oħrajn, biex jiżguraw l-istabbiltà u s-sigurtà tal-provvista tal-gass.
Valvi tal-gass: Il-valvi tal-gass jintużaw biex jikkontrollaw il-fluss tal-gassijiet u biex jagħlqu l-passaġġi tal-gass. Normalment ikollhom funzjoni mixgħula / mitfi li tiftaħ jew tagħlaq il-fluss tal-gass. Hemm diversi tipi ta 'valvi tal-gass, inklużi valvi manwali, valvi elettriċi u valvi pnewmatiċi. Huma użati ħafna fis-sistemi tal-gass biex jikkontrollaw il-fluss, il-pressjoni u r-rata tal-fluss tal-gassijiet.
Gauges tal-pressjoni tal-gass: Il-manometri tal-pressjoni tal-gass jintużaw biex jitkejlu l-livell tal-pressjoni ta 'gass. Normalment huma installati f'postijiet kritiċi fis-sistemi tal-gass biex jimmonitorjaw il-bidliet fil-pressjoni u jiżguraw li jkunu f'limiti sikuri. Il-gauges tal-pressjoni tal-gass jintużaw ħafna fl-industrija, il-manifattura u l-laboratorji, u l-industrija tas-semikondutturi kienet involuta wkoll.
Ditekters tat-tnixxija tal-gass: Detetturi tat-tnixxija tal-gass jintużaw biex jikxfu tnixxijiet fis-sistemi tal-gass. Huma jindunawIl-preżenza ta 'tnixxija ta' gass u ħoss ta 'allarm sabiex tkun tista' tittieħed azzjoni f'waqtha biex jiġu evitati inċidenti ta 'tnixxija. Id-ditekters tat-tnixxija tal-gass jintużaw ħafna f'applikazzjonijiet industrijali, kimiċi, taż-żejt u tal-gass, u l-industrija tas-semikondutturi kienet involuta wkoll.
Ħin ta 'wara: Frar-20-2024