Gassijiet ta 'purità ultra-għolja huma essenzjali fil-katina tal-provvista tas-semikondutturi. Fil-fatt, għal fab tipiku, il-gassijiet ta 'purità għolja huma l-akbar spiża materjali wara s-silikon innifsu. Wara n-nuqqas ta 'ċippa globali, l-industrija qed tespandi aktar malajr minn qatt qabel - u d-domanda għal gassijiet ta' purità għolja qed tiżdied.
Il-gassijiet bl-ingrossa l-aktar użati fil-manifattura tas-semikondutturi huma n-nitroġenu, l-elju, l-idroġenu u l-argon.
Nitrogen
In-nitroġenu jifforma 78% tal-atmosfera tagħna u huwa estremament abbundanti. Jiġri wkoll li huwa kimikament inert u mhux konduttiv. Bħala riżultat, in-nitroġenu sab triqtu f'numru ta 'industriji bħala gass inert kosteffikaċi.
L-industrija tas-semikondutturi hija konsumatur ewlieni tan-nitroġenu. Impjant modern tal-manifattura tas-semikondutturi huwa mistenni li juża sa 50,000 metru kubu ta 'nitroġenu fis-siegħa. Fil-manifattura tas-semikondutturi, in-nitroġenu jaġixxi bħala skop ġenerali inerting u purging gass, jipproteġi wejfers tas-silikon sensittivi minn ossiġnu reattiv u umdità fl-arja.
Elju
L-elju huwa gass inert. Dan ifisser li, bħan-nitroġenu, l-elju huwa kimikament inert - iżda għandu wkoll il-vantaġġ miżjud ta 'konduttività termali għolja. Dan huwa partikolarment utli fil-manifattura tas-semikondutturi, li jippermettilha tmexxi b'mod effiċjenti s-sħana 'l bogħod minn proċessi ta' enerġija għolja u tgħin biex tipproteġihom minn ħsara termali u reazzjonijiet kimiċi mhux mixtieqa.
Idroġenu
L-idroġenu jintuża b'mod estensiv matul il-proċess tal-manifattura tal-elettronika, u l-produzzjoni tas-semikondutturi mhix eċċezzjoni. B'mod partikolari, l-idroġenu jintuża għal:
Tnaqqis: Il-wejfers tas-silikon huma tipikament imsaħħna għal temperaturi għoljin u mkessħa bil-mod biex isewwu (anneal) l-istruttura tal-kristall. L-idroġenu jintuża biex jittrasferixxi s-sħana b'mod uniformi lill-wejfer u biex jgħin fil-bini mill-ġdid tal-istruttura tal-kristall.
Epitaxy: Idroġenu ta 'purità ultra-għolja jintuża bħala aġent li jnaqqas fid-deposizzjoni epitassjali ta' materjali semikondutturi bħas-silikon u l-ġermanju.
Depożizzjoni: L-idroġenu jista 'jiġi doped f'film tas-silikon biex jagħmel l-istruttura atomika tagħhom aktar diżordinata, li tgħin biex tiżdied ir-reżistività.
Tindif tal-plażma: Il-plażma tal-idroġenu hija partikolarment effettiva biex tneħħi l-kontaminazzjoni tal-landa minn sorsi tad-dawl użati fil-litografija UV.
Argon
Argon huwa gass nobbli ieħor, u għalhekk juri l-istess reattività baxxa bħan-nitroġenu u l-elju. Madankollu, l-enerġija baxxa ta 'jonizzazzjoni ta' Argon tagħmilha utli f'applikazzjonijiet semikondutturi. Minħabba l-faċilità relattiva tiegħu ta 'jonizzazzjoni, l-argon huwa komunement użat bħala l-gass tal-plażma primarju għal reazzjonijiet ta' inċiżjoni u deposizzjoni fil-manifattura tas-semikondutturi. Minbarra dan, l-argon jintuża wkoll fil-lejżers tal-excimer għal-litografija UV.
Għaliex il-purità hija importanti
Tipikament, l-avvanzi fit-teknoloġija tas-semikondutturi nkisbu permezz tal-iskalar tad-daqs, u l-ġenerazzjoni l-ġdida tat-teknoloġija tas-semikondutturi hija kkaratterizzata minn daqsijiet ta 'fatturi iżgħar. Dan jagħti benefiċċji multipli: aktar transistors f'volum partikolari, kurrenti mtejba, konsum aktar baxx ta 'enerġija u bidla aktar mgħaġġla.
Madankollu, hekk kif id-daqs kritiku jonqos, l-apparati semikondutturi jsiru dejjem aktar sofistikati. F’dinja fejn il-pożizzjoni ta ’atomi individwali hija importanti, il-limiti ta’ tolleranza tal-ħsarat huma stretti ħafna. Bħala riżultat, proċessi moderni tas-semikondutturi jeħtieġu gassijiet tal-proċess bl-ogħla purità possibbli.
Wofly hija intrapriża ta 'teknoloġija għolja li tispeċjalizza fl-inġinerija tas-sistema tal-applikazzjoni tal-gass: sistema elettronika tal-gass speċjali, sistema taċ-ċirkwiti tal-gass tal-laboratorju, sistema ta' provvista tal-gass ċentralizzata industrijali, sistema tal-gass bl-ingrossa (likwidu), gass ta 'purità għolja u proċess speċjali tal-pajpijiet tal-gass tal-gass, sistema ta' konsenja kimika, sistema ta 'ilma pur biex tipprovdi sett sħiħ ta' inġinerija Sit, l-ittestjar ġenerali tas-sistema, il-manutenzjoni u prodotti oħra ta 'sostenn b'mod integrat.
Ħin ta 'wara: 11-11-2023