Hekk kif is-suq tas-semikondutturi jikber, l-istandards għall-purità u l-eżattezza jsiru aktar stretti. Wieħed mill-fatturi determinanti fil-kwalità tal-manifattura tas-semikondutturi huwa l-gassijiet użati fil-proċess. Dawn il-gassijiet għandhom ħafna rwoli fil-proċess tal-manifattura, inkluż:
Kontroll tal-proċess ta 'preċiżjoni
Prevenzjoni ta 'kontaminazzjoni
Titjib tal-Propjetà Metallurġika
Biex twettaq dawn ir-rwoli b'mod effettiv, is-sistema ta 'provvista u distribuzzjoni tal-gass għandha tkun effiċjenti. Id-disinn ta 'sistemi ta' mmaniġġjar tal-gass użati fil-manifattura tas-semikondutturi għandhom ikunu appoġġjati minn komponenti robusti u assemblaġġi personalizzati biex jiżguraw produzzjoni ta 'kwalità affidabbli u ta' kwalità għolja ta 'semikondutturi.
Gassijiet użati fil-manifattura tas-semikondutturi
Il-proċess tal-manifattura tas-semikondutturi jirrikjedi l-użu ta 'gassijiet differenti fi stadji differenti tal-proċess.
Filwaqt li gassijiet komuni bħal nitroġenu, idroġenu, argon u elju jistgħu jintużaw fil-forma pura tagħhom, ċerti proċessi jistgħu jeħtieġu taħlitiet speċjalizzati. Silanes jew siloxanes, hexafluworidi, alidi u idrokarburi huma ftit mill-gassijiet speċjalizzati użati fil-manifattura tas-semikondutturi. Ħafna minn dawn il-gassijiet jistgħu jkunu perikolużi jew reattivi ħafna, u joħolqu sfidi fl-għażla u d-disinn ta 'komponenti għas-sistemi tal-gass.
Hawn xi eżempji:
\ Idroġenu u elju jistgħu faċilment inixxi minn sistemi ta 'pajpijiet u twaħħil minħabba d-daqs u l-piż atomiku żgħir tagħhom.
\ Silanes huma fjammabbli ħafna u jistgħu b'mod spontanju (autoignite) fl-arja.
\ Difluworidu tan-nitroġenu użat fid-deposizzjoni, l-inċiżjoni u l-istadji tat-tindif tal-kamra jsir gass serra qawwi meta nixxew fl-ambjent.
\ Il-fluworidu tal-idroġenu (gass tal-inċiżjoni) huwa korrużiv ħafna għall-pajpijiet tal-metall.
\ Trimethylgallium u ammonja jistgħu jkunu diffiċli biex jimmaniġġjaw - varjazzjonijiet żgħar fit-temperatura u r-rekwiżiti tal-pressjoni tagħhom jistgħu jaffettwaw il-proċess ta 'deposizzjoni.
Il-kontroll tal-kundizzjonijiet tal-proċess biex jiġu minimizzati l-effetti negattivi ta 'dawn il-gassijiet għandhom ikunu prijorità ewlenija waqt id-disinn tas-sistema. Huwa daqstant importanti li jintużaw komponenti tal-ogħla kwalità bħal valvi tad-dijaframma AFK matul il-proċess tal-bini.
Tindirizza l-isfidi tad-disinn tas-sistema
Il-gassijiet ta 'grad semikondutturi huma f'ħafna każijiet ta' purità għolja u jipprovdu kundizzjonijiet inerti jew isaħħu r-reazzjonijiet fi stadji differenti tal-proċess tal-manifattura, bħal gassijiet tal-inċiżjoni u tad-deposizzjoni. It-tnixxija jew il-kontaminazzjoni ta 'gassijiet bħal dawn jista' jkollhom effetti negattivi. Għalhekk, huwa kritiku għall-komponenti tas-sistema użati biex ikunu ssiġillati ermetikament u reżistenti għall-korrużjoni kif ukoll għandhom finitura tal-wiċċ lixxa (illustrar elettrolitiku) biex tiżgura li ma jkun hemm l-ebda possibbiltà ta 'kontaminazzjoni u li jista' jinżamm livell estremament għoli ta 'ndafa.
Barra minn hekk, uħud minn dawn il-gassijiet jistgħu jissaħħnu jew imkessħa biex jinkisbu kundizzjonijiet mixtieqa tal-proċess. Komponenti insulati sew jiżguraw il-kontroll tat-temperatura, li huwa kritiku għal prestazzjoni effiċjenti tal-prodott finali.
Mid-daħla tas-sors sal-punt tal-użu, il-firxa wiesgħa ta 'komponenti tal-AFK tappoġġja l-purità ultra-għolja, it-temperatura, il-pressjoni u l-kontroll tal-fluss meħtieġ fil-kmamar tat-tindif tas-semikondutturi u l-kmamar tal-vakwu.
Sistemi ddisinjati b'komponenti ta 'kwalità f'fabs semikondutturi
Ir-rwol tal-komponenti tal-kwalità u l-ottimizzazzjoni tad-disinn huwa kritiku għall-kontroll preċiż u l-manifattura sikura tas-semikondutturi. Il-komponenti użati jeħtieġ li jkunu robusti u bla tnixxija biex jaqblu mal-kundizzjonijiet tal-proċess li jvarjaw meħtieġa fi stadji differenti tal-valvi, fittings, fittings, regolaturi, pajpijiet, pajpijiet, pajpijiet u siġillar ta 'parentesi huma kkaratterizzati mill-karatteristiċi li ġejjin:
Purità ultra-għolja
Siġilli mingħajr tnixxija
Insulazzjoni kkontrollata mit-temperatura
Kontroll tal-pressjoni
Reżistenza għall-korrużjoni
Trattament tal-illustrar elettrolitiku
POST ĦIN: Ottubru-09-2023