It-teknoloġija tal-pajpijiet tal-gass ta 'purità għolja hija parti importanti mis-sistema tal-provvista tal-gass ta' purità għolja, li hija t-teknoloġija ewlenija biex twassal il-gass ta 'purità għolja meħtieġa sal-punt tal-użu u xorta żżomm il-kwalità kwalifikata; It-teknoloġija tal-pajpijiet tal-gass ta 'purità għolja tinkludi d-disinn korrett tas-sistema, l-għażla tal-fittings u l-aċċessorji, il-kostruzzjoni u l-installazzjoni, u l-ittestjar. F’dawn l-aħħar snin, ir-rekwiżiti dejjem aktar stretti dwar il-purità u l-kontenut ta ’impurità ta’ gassijiet ta ’purità għolja fil-produzzjoni ta’ prodotti mikroelettroniċi rappreżentati minn ċirkwiti integrati fuq skala kbira għamlu t-teknoloġija tal-pajpijiet ta ’gassijiet ta’ purità għolja dejjem aktar ikkonċernati u enfasizzati. Is-segwenti hija ħarsa ġenerali fil-qosor tal-pajpijiet tal-gass ta 'purità għolja mill-għażla tal-materjalof kostruzzjoni, kif ukoll aċċettazzjoni u ġestjoni ta 'kuljum.
Tipi ta 'gassijiet komuni
Klassifikazzjoni ta 'gassijiet komuni fl-industrija tal-elettronika：
Gassijiet komuni（Gass bl-ingrossa）: idroġenu (h2), nitroġenu (n2), ossiġnu (o2), argon (a2), eċċ.
Gassijiet speċjalizzatihuma sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,Pocl3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,Clf3 ,Ko,C2F6, N2O,F2,Hf,HBR SF6…… eċċ.
It-tipi ta 'gassijiet speċjali ġeneralment jistgħu jiġu kklassifikati bħala korrużivigass, tossikugass, fjammabbligass, kombustibbligass, inertgass, eċċ. Il-gassijiet semikondutturi użati b'mod komuni huma ġeneralment klassifikati kif ġej.
(i) korrużiv / tossikugass: Hcl, bf3, Wf6, HBR, SIH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, Bcl3... eċċ.
(ii) Fjammabbiltàgass: H2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Ch3F, ko ... eċċ.
(iii) Kombustibilitàgass: O2, Cl2, N2O, nf3... eċċ.
(iv) Inertgass: N2, Cf.4, C2F6, C4F8,Sf6, Ko2, Ne, Kr, hu ... eċċ.
Ħafna gassijiet semikondutturi huma ta 'ħsara għall-ġisem tal-bniedem. B'mod partikolari, uħud minn dawn il-gassijiet, bħal SIH4 Kombustjoni spontanja, sakemm tnixxija tirreaġixxi b'mod vjolenti ma 'l-ossiġnu fl-arja u tibda tinħaraq; u rmied3Tossiku ħafna, kwalunkwe tnixxija żgħira tista 'tikkawża r-riskju ta' ħajja umana, huwa minħabba dawn il-perikli ovvji, u għalhekk ir-rekwiżiti għas-sigurtà tad-disinn tas-sistema huma partikolarment għoljin.
Ambitu tal-applikazzjoni tal-gassijiet
Bħala materja prima bażika importanti tal-industrija moderna, il-prodotti tal-gass huma użati ħafna, u numru kbir ta 'gassijiet komuni jew gassijiet speċjali jintużaw f'metallurġija, azzar, pitrolju, industrija kimika, makkinarju, elettronika, ħġieġ, ċeramika, materjali tal-bini, kostruzzjoni, proċessar tal-ikel, mediċina u setturi mediċi. L-applikazzjoni tal-gass għandha impatt importanti fuq it-teknoloġija għolja ta 'dawn l-oqsma b'mod partikolari, u hija l-gass tal-materja prima indispensabbli jew il-gass tal-proċess. Biss mal-bżonnijiet u l-promozzjoni ta 'diversi setturi industrijali ġodda u x-xjenza u t-teknoloġija moderna, il-prodotti tal-industrija tal-gass jistgħu jiġu żviluppati mill-qabżiet f'termini ta' varjetà, kwalità u kwantità.
Applikazzjoni tal-Gass fl-Industrija tal-Mikroelettronika u tas-Semikondutturi
L-użu tal-gass dejjem kellu rwol importanti fil-proċess tas-semikondutturi, speċjalment il-proċess tas-semikondutturi intuża ħafna f'diversi industriji, mill-ULSI tradizzjonali, TFT-LCD għall-industrija attwali mikro-elettro-mekkanika (MEMS), li kollha jużaw l-hekk imsejħa proċess semikonduttur bħala l-proċess tal-manifattura tal-prodotti. Il-purità tal-gass għandha impatt deċiżiv fuq il-prestazzjoni tal-komponenti u r-rendiment tal-prodott, u s-sigurtà tal-provvista tal-gass hija relatata mas-saħħa tal-persunal u s-sigurtà tal-operazzjonijiet tal-pjanti.
Is-sinifikat tal-pajpijiet ta 'purità għolja fit-trasport tal-gass ta' purità għolja
Fil-proċess ta 'tidwib tal-istainless steel u materjal li jagħmel, madwar 200g ta' gass jista 'jiġi assorbit għal kull tunnellata. Wara l-ipproċessar ta 'l-istainless steel, mhux biss il-wiċċ tiegħu jwaħħal ma' diversi kontaminanti, iżda wkoll fil-kannizzata tal-metall tiegħu assorba wkoll ċertu ammont ta 'gass. Meta jkun hemm fluss ta 'l-arja permezz tal-pipeline, il-metall jassorbi din il-parti tal-gass jerġa' jidħol fil-fluss ta 'l-arja, li jniġġes il-gass pur. Meta l-fluss ta 'l-arja fit-tubu jkun fluss mhux kontinwu, it-tubu jassorbi l-gass taħt pressjoni, u meta l-fluss ta' l-arja jieqaf jgħaddi, il-gass adsorbit mit-tubu jifforma waqgħa ta 'pressjoni biex issolvi, u l-gass solvut jidħol ukoll fil-gass pur fit-tubu bħala impuritajiet. Fl-istess ħin, l-adsorbiment u r-riżoluzzjoni huma ripetuti, sabiex il-metall fuq il-wiċċ ta 'ġewwa tat-tubu jipproduċi wkoll ċertu ammont ta' trab, u dan il-partiċelli tat-trab tal-metall ukoll jniġġsu l-gass pur ġewwa t-tubu. Din il-karatteristika tat-tubu hija essenzjali biex tiżgura l-purità tal-gass trasportat, li teħtieġ mhux biss intoppi għolja ħafna tal-wiċċ ta 'ġewwa tat-tubu, iżda wkoll reżistenza għolja għall-ilbies.
Meta jintuża l-gass b'rendiment korrużiv qawwi, il-pajpijiet tal-istainless steel reżistenti għall-korrużjoni għandhom jintużaw għall-pajpijiet. Inkella, il-pajp jipproduċi tikek ta 'korrużjoni fuq il-wiċċ ta' ġewwa minħabba korrużjoni, u f'każijiet serji, se jkun hemm żona kbira ta 'tqaxxir tal-metall jew saħansitra perforazzjoni, li tikkontamina l-gass pur li għandu jitqassam.
Il-konnessjoni ta 'pajpijiet ta' trasmissjoni u distribuzzjoni ta 'gass ta' purità għolja u ta 'naddaf għoli ta' rati ta 'fluss kbar.
Fil-prinċipju, kollha huma wweldjati, u t-tubi użati huma meħtieġa li ma jkollhom l-ebda bidla fl-organizzazzjoni meta tiġi applikata l-iwweldjar. Materjali b'kontenut għoli wisq ta 'karbonju huma soġġetti għall-permeabilità tal-arja tal-partijiet iwweldjati meta l-iwweldjar, li jagħmel il-penetrazzjoni reċiproka tal-gassijiet ġewwa u barra l-pajp u jeqred il-purità, in-nixfa u l-indafa tal-gass trasmess, li jirriżulta fit-telf tal-isforzi kollha tagħna.
Fil-qosor, għal pipeline ta 'trasmissjoni ta' gass ta 'purità għolja u ta' gass speċjali, huwa meħtieġ li jintuża trattament speċjali ta 'pajp ta' l-istainless steel ta 'purità għolja, biex tagħmel sistema ta' pipeline ta 'purità għolja (inklużi pajpijiet, tagħmir, valvi, valvi, VMB, VMP) fid-distribuzzjoni tal-gass ta' purità għolja tokkupa missjoni vitali.
Kunċett ġenerali ta 'teknoloġija nadifa għal pajpijiet ta' trasmissjoni u distribuzzjoni
It-trasmissjoni tal-ġisem tal-gass pur u nadif ħafna bil-pajpijiet tfisser li hemm ċerti rekwiżiti jew kontrolli għal tliet aspetti tal-gass li għandhom jiġu trasportati.
Purità tal-gass: Il-kontenut ta 'atmosfera ta' impurità fil-purità tal-GGAs: il-kontenut ta 'atmosfera ta' impurità fil-gass, ġeneralment espress bħala perċentwali ta 'purità tal-gass, bħal 99.9999%, espress ukoll bħala l-proporzjon tal-volum ta' atmosfera ta 'impurità ta' kontenut ta 'impurità PPM, PPB, PPT.
Nixfa: L-ammont ta 'umdità ta' traċċa fil-gass, jew l-ammont imsejjaħ imxarrab, ġeneralment espress f'termini ta 'punt tan-nida, bħal pressjoni atmosferika punt -70. Ċ
Indafa: In-numru ta 'partiċelli kontaminanti li jinsabu fil-gass, daqs tal-partiċelli ta' µM, kemm partiċelli / m3 għandhom jesprimu, għal arja kkompressata, ġeneralment espressi wkoll f'termini ta 'kemm mg / m3 ta' residwi solidi inevitabbli, li jkopri l-kontenut taż-żejt.
Klassifikazzjoni tad-daqs li tniġġes: partiċelli li jniġġsu, jirreferi prinċipalment għall-għorik tal-pipeline, l-ilbies, il-korrużjoni ġġenerata minn partiċelli tal-metall, partiċelli ta 'nugrufun atmosferiku, kif ukoll mikroorganiżmi, fażijiet, fagi u qtar ta' kondensazzjoni tal-gass li fihom l-umdità, eċċ., Skond id-daqs tad-daqs tal-partiċella tiegħu huwa maqsum fi
a) Partiċelli kbar - Daqs tal-partiċelli 'l fuq minn 5μm
b) Partiċelli - dijametru tal-materjal bejn 0.1μm-5μm
C) Partiċelli ultra-mikro - Daqs tal-partiċelli inqas minn 0.1μm.
Sabiex tissaħħaħ l-applikazzjoni ta 'din it-teknoloġija, biex tkun tista' tifhem il-perċezzjoni tad-daqs tal-partiċelli u l-unitajiet μM, sett ta 'status speċifiku tal-partiċella huwa pprovdut għal referenza
Dan li ġej huwa paragun ta 'partiċelli speċifiċi
| Isem / Daqs tal-Partiċelli (µm) | Isem / Daqs tal-Partiċelli (µm) | Isem / Daqs tal-Partiċella (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Microdroplet aerosolizzat 1-12 |
| Fjuwil nukleari 0.01-0.1 | Żebgħa 0.1-6 | Fly Ash 1-200 |
| Karbonju Iswed 0.01-0.3 | Trab tal-ħalib 0.1-10 | Pestiċida 5-10 |
| Reżina 0.01-1 | Batterji 0.3-30 | Trab tas-siment 5-100 |
| Dħaħen tas-sigaretti 0.01-1 | Trab tar-ramel 0.5-5 | Pollen 10-15 |
| Silikon 0.02-0.1 | Pestiċida 0.5-10 | Xagħar uman 50-120 |
| Melħ kristallizzat 0.03-0.5 | Trab tal-kubrit ikkonċentrat 1-11 | Ramel tal-baħar 100-1200 |
Ħin ta 'wara: Ġunju-14-2022