It-teknoloġija tal-pajpijiet tal-gass ta 'purità għolja hija parti importanti tas-sistema tal-provvista tal-gass ta' purità għolja, li hija t-teknoloġija ewlenija biex twassal il-gass ta 'purità għolja meħtieġ sal-punt tal-użu u xorta żżomm il-kwalità kwalifikata;It-teknoloġija tal-pajpijiet tal-gass ta 'purità għolja tinkludi d-disinn korrett tas-sistema, l-għażla ta' fittings u aċċessorji, kostruzzjoni u installazzjoni, u ttestjar.F'dawn l-aħħar snin, ir-rekwiżiti dejjem aktar stretti dwar il-purità u l-kontenut ta 'impurità ta' gassijiet ta 'purità għolja fil-produzzjoni ta' prodotti mikroelettronika rappreżentati minn ċirkwiti integrati fuq skala kbira għamlu t-teknoloġija tal-pajpijiet ta 'gassijiet ta' purità għolja dejjem aktar imħassba u enfasizzata.Din li ġejja hija ħarsa ġenerali qasira tal-pajpijiet tal-gass ta 'purità għolja mill-għażla tal-materjalof kostruzzjoni, kif ukoll aċċettazzjoni u ġestjoni ta 'kuljum.
Tipi ta' gassijiet komuni
Klassifikazzjoni ta 'gassijiet komuni fl-industrija elettronika：
Gassijiet komuni（Gass bl-ingrossa）: idroġenu (H2), nitroġenu (N2), ossiġnu (O2), argon (A2), eċċ.
Gassijiet speċjalihuma SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… eċċ.
It-tipi ta 'gassijiet speċjali jistgħu ġeneralment jiġu kklassifikati bħala korrużivigass, tossikugass, fjammabbligass, kombustibbligass, inertigass, eċċ. Il-gassijiet semikondutturi użati komunement huma ġeneralment klassifikati kif ġej.
(i) Korrużiv / tossikugass: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…eċċ.
(ii) Fjammabilitàgass: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO... eċċ.
(iii) kombustibbiltàgass: O2, Cl2, N2O, NF3… eċċ.
(iv) Inertigass: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He... eċċ.
Ħafna gassijiet semikondutturi huma ta 'ħsara għall-ġisem tal-bniedem.B'mod partikolari, xi wħud minn dawn il-gassijiet, bħal SiH4 kombustjoni spontanja, sakemm tnixxija tirreaġixxi b'mod vjolenti ma 'l-ossiġnu fl-arja u tibda tinħaraq;u AsH3tossiku ħafna, kwalunkwe tnixxija żgħira tista 'tikkawża r-riskju tal-ħajja tal-bniedem, huwa minħabba dawn il-perikli ovvji, għalhekk ir-rekwiżiti għas-sigurtà tad-disinn tas-sistema hija partikolarment għolja.
Skop ta' applikazzjoni tal-gassijiet
Bħala materja prima bażika importanti tal-industrija moderna, il-prodotti tal-gass jintużaw ħafna, u numru kbir ta 'gassijiet komuni jew gassijiet speċjali jintużaw fil-metallurġija, azzar, pitrolju, industrija kimika, makkinarju, elettronika, ħġieġ, ċeramika, materjali tal-bini, kostruzzjoni , l-ipproċessar tal-ikel, il-mediċina u s-setturi mediċi.L-applikazzjoni tal-gass għandha impatt importanti fuq it-teknoloġija għolja ta 'dawn l-oqsma b'mod partikolari, u hija l-gass tal-materja prima indispensabbli tagħha jew il-gass tal-proċess.Biss bil-ħtiġijiet u l-promozzjoni ta 'diversi setturi industrijali ġodda u xjenza u teknoloġija moderna, il-prodotti tal-industrija tal-gass jistgħu jiġu żviluppati b'mod leaps u limiti f'termini ta' varjetà, kwalità u kwantità.
Applikazzjoni tal-gass fl-industrija tal-mikroelettronika u tas-semikondutturi
L-użu tal-gass dejjem kellu rwol importanti fil-proċess tas-semikondutturi, speċjalment il-proċess tas-semikondutturi intuża ħafna f'diversi industriji, mill-ULSI tradizzjonali, TFT-LCD għall-industrija attwali mikro-elettro-mekkanika (MEMS), kollha li jużaw l-hekk imsejjaħ proċess tas-semikondutturi bħala l-proċess tal-manifattura tal-prodotti.Il-purità tal-gass għandha impatt deċiżiv fuq il-prestazzjoni tal-komponenti u r-rendiment tal-prodott, u s-sikurezza tal-provvista tal-gass hija relatata mas-saħħa tal-persunal u s-sikurezza tal-operazzjonijiet tal-impjant.
Is-sinifikat tal-pajpijiet ta 'purità għolja fit-trasport tal-gass ta' purità għolja
Fil-proċess tat-tidwib ta 'l-istainless steel u li jagħmel materjal, madwar 200g ta' gass jistgħu jiġu assorbiti għal kull tunnellata.Wara l-ipproċessar tal-istainless steel, mhux biss il-wiċċ tiegħu li jwaħħal b'diversi kontaminanti, iżda wkoll fil-kannizzata tal-metall tiegħu assorbit ukoll ċertu ammont ta 'gass.Meta jkun hemm fluss ta 'arja permezz tal-pipeline, il-metall jassorbi din il-parti tal-gass jerġa' jidħol fil-fluss ta 'l-arja, iniġġes il-gass pur.Meta l-fluss tal-arja fit-tubu jkun fluss mhux kontinwu, it-tubu jassorbi l-gass taħt pressjoni, u meta l-fluss tal-arja jieqaf jgħaddi, il-gass adsorbit mit-tubu jifforma tnaqqis fil-pressjoni biex isolvi, u l-gass riżolt jidħol ukoll fil-gass pur fit-tubu bħala impuritajiet.Fl-istess ħin, l-assorbiment u r-riżoluzzjoni huma ripetuti, sabiex il-metall fuq il-wiċċ ta 'ġewwa tat-tubu jipproduċi wkoll ċertu ammont ta' trab, u dan il-partiċelli tat-trab tal-metall iħammġu wkoll il-gass pur ġewwa t-tubu.Din il-karatteristika tat-tubu hija essenzjali biex tiġi żgurata l-purità tal-gass trasportat, li teħtieġ mhux biss intoppi għolja ħafna tal-wiċċ ta 'ġewwa tat-tubu, iżda wkoll reżistenza għolja għall-ilbies.
Meta jintuża l-gass b'rendiment korrużiv qawwi, pajpijiet ta 'l-istainless steel reżistenti għall-korrużjoni għandhom jintużaw għall-pajpijiet.Inkella, il-pajp jipproduċi tikek ta 'korrużjoni fuq il-wiċċ ta' ġewwa minħabba korrużjoni, u f'każijiet serji, se jkun hemm żona kbira ta 'tqaxxir tal-metall jew saħansitra perforazzjoni, li tikkontamina l-gass pur li għandu jitqassam.
Il-konnessjoni ta 'pipelines ta' trasmissjoni u distribuzzjoni tal-gass ta 'purità għolja u ta' ndafa għolja ta 'rati ta' fluss kbar.
Fil-prinċipju, kollha kemm huma wweldjati, u t-tubi użati huma meħtieġa li ma jkollhom l-ebda bidla fl-organizzazzjoni meta tiġi applikata l-iwweldjar.Materjali b'kontenut għoli wisq ta 'karbonju huma soġġetti għall-permeabilità ta' l-arja tal-partijiet iwweldjati waqt l-iwweldjar, li tagħmel il-penetrazzjoni reċiproka ta 'gassijiet ġewwa u barra l-pajp u teqred il-purità, in-nixfa u l-indafa tal-gass trażmess, li jirriżulta fit-telf ta' l-isforzi kollha tagħna.
Fil-qosor, għal gass ta 'purità għolja u pipeline ta' trasmissjoni ta 'gass speċjali, huwa meħtieġ li jintuża trattament speċjali ta' pajp ta 'l-istainless steel ta' purità għolja, biex tagħmel sistema ta 'pipeline ta' purità għolja (inklużi pajpijiet, fittings, valvi, VMB, VMP) f' distribuzzjoni tal-gass ta 'purità għolja tokkupa missjoni vitali.
Kunċett ġenerali ta 'teknoloġija nadifa għal pipelines ta' trażmissjoni u distribuzzjoni
Trasmissjoni tal-ġisem tal-gass pur ħafna u nadif bil-pajpijiet tfisser li hemm ċerti rekwiżiti jew kontrolli għal tliet aspetti tal-gass li għandu jiġi ttrasportat.
Purità tal-gass: Il-kontenut ta 'atmosfera ta' impurità fil-purità gGas: Il-kontenut ta 'atmosfera ta' impurità fil-gass, normalment espress bħala perċentwal ta 'purità tal-gass, bħal 99.9999%, espress ukoll bħala l-proporzjon tal-volum tal-kontenut tal-atmosfera ta' impurità ppm, ppb, ppt.
Nixfa: l-ammont ta 'traċċa ta' umdità fil-gass, jew l-ammont imsejjaħ wetness, normalment espress f'termini ta 'punt tan-nida, bħal punt ta' nida tal-pressjoni atmosferika -70.Ċ.
Indafa: in-numru ta 'partiċelli kontaminanti li jinsabu fil-gass, daqs tal-partiċelli ta' µm, kemm partiċelli/M3 biex jesprimu, għall-arja kkompressata, normalment espressi wkoll f'termini ta 'kemm mg/m3 ta' residwi solidi inevitabbli, li jkopri l-kontenut taż-żejt .
Klassifikazzjoni tad-daqs tal-inkwinanti: partiċelli li jniġġsu, jirreferi prinċipalment għal għorik tal-pipeline, xedd, korrużjoni ġġenerata minn partiċelli tal-metall, partiċelli tan-nugrufun atmosferiku, kif ukoll mikro-organiżmi, fagi u qtar ta 'kondensazzjoni tal-gass li fihom umdità, eċċ., Skond id-daqs tad-daqs tal-partiċelli tiegħu hija maqsuma fi
a) Partiċelli kbar - daqs tal-partiċelli 'l fuq minn 5μm
b) Partiċelli - dijametru tal-materjal bejn 0.1μm-5μm
c) Partiċelli ultra-mikro - daqs tal-partiċelli inqas minn 0.1μm.
Sabiex tissaħħaħ l-applikazzjoni ta 'din it-teknoloġija, biex tkun tista' fehim perċettiv tad-daqs tal-partiċelli u l-unitajiet μm, sett ta 'status ta' partiċelli speċifiku huwa pprovdut għal referenza
Dan li ġej huwa paragun ta 'partiċelli speċifiċi
| Isem/daqs tal-partiċelli (µm) | Isem/daqs tal-partiċelli (µm) | Isem/ Daqs tal-partiċelli (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Microdroplet aerosolizzat 1-12 |
| Karburant nukleari 0.01-0.1 | Żebgħa 0.1-6 | Fly irmied 1-200 |
| Iswed tal-karbonju 0.01-0.3 | Trab tal-ħalib 0.1-10 | Pestiċida 5-10 |
| Reżina 0.01-1 | Batterji 0.3-30 | Trab tas-siment 5-100 |
| Duħħan tas-sigaretti 0.01-1 | Trab tar-ramel 0.5-5 | Polline 10-15 |
| Silikon 0.02-0.1 | Pestiċida 0.5-10 | Xagħar tal-bniedem 50-120 |
| Melħ kristallizzat 0.03-0.5 | Trab tal-kubrit ikkonċentrat 1-11 | Ramel tal-baħar 100-1200 |
Ħin tal-post: Ġunju-14-2022